多晶石墨熱場|石墨熱場|單晶鑄錠用石墨熱場
石墨熱場 熱場石墨 多晶硅 單晶硅熱場石墨 石墨發(fā)熱元器件
一種流行的設(shè)計方案是采用石墨材料制作熱場隔熱部件。標(biāo)準(zhǔn)的石墨保溫材料由板狀或者多層毯狀石墨化碳纖維材料組成,在靠近熱場中心的內(nèi)表面往往需要加覆一層石墨紙或碳碳復(fù)合材料薄板用來提高熱反射率和防止高壓氣流的沖刷。由于石墨材料本身所具有的多孔性和可滲透性,各層隔熱材料之間不需要預(yù)留額外的空間。石墨材料具有優(yōu)良的隔熱性能,成本通常較金屬屏低,而且非常易于使用。就制造成本,耐用性和可維護(hù)性而言,石墨隔熱軟氈較石墨隔熱硬氈具有一定的優(yōu)勢。通過生產(chǎn)實(shí)踐,金屬隔熱屏往往不適于環(huán)境惡劣的真空釬焊工藝。來自于焊料的金屬物質(zhì)會沉積在金屬隔熱屏的表面,由于隔熱屏與所附著的焊料物質(zhì)的熱膨脹系數(shù)不同,金屬隔熱屏?xí)a(chǎn)生彎曲變形與斷裂,這會***終降低金屬屏的隔熱性能。金屬屏在遇到銅焊合金濺射的情況下很容易受到損傷,導(dǎo)致屏的表面形成孔洞,熱量會從這些孔洞中傳遞出去。當(dāng)然,使用厚一些的金屬屏特別是鉬合金的屏?xí)娱L金屬熱場的使用壽命,但是卻增加了可觀的成本。比較好的解決方案是采用石墨材料制作隔熱部件,實(shí)踐證明,盡管在釬焊工藝中會有很多焊料沉積在石墨隔熱材料的表面,但是卻不會發(fā)生熔解的焊料與石墨隔熱材料的熔合現(xiàn)象。雖然有人會質(zhì)疑,認(rèn)為石墨材料比金屬材料更容易吸收水分,水分對釬焊工藝過程危害很大,但是,實(shí)踐證明熱場周而復(fù)始的升溫與降溫會很好地排除石墨隔熱材料中的水分。
直拉單晶爐的熱系統(tǒng),也就是所謂的熱場,是指為了熔化硅料,并使單晶生長保持在一定溫度下進(jìn)行的整個系統(tǒng)。 熱場一般包括(石墨材料)壓環(huán)、保溫蓋、上中下保溫罩、石墨坩堝(三瓣堝)、坩堝托桿、坩堝托盤、電極、加熱器、導(dǎo)流筒、石墨螺栓,且為了防止漏硅,爐底、金屬電極、托桿、都設(shè)置了保護(hù)板、保護(hù)套。 石墨熱場簡單的說就是用來拉單晶硅的整套石墨加熱系統(tǒng)。***常見的是18寸的石墨熱場。