藍(lán)寶石長晶爐用石墨制品

藍(lán)寶石長晶爐用石墨制品

泡生法藍(lán)寶石結(jié)晶爐走水電極
導(dǎo)電電極（走水電極、長晶爐主導(dǎo)電體）是藍(lán)寶石長晶真空爐的重要部件之一，是爐內(nèi)加熱熱場(chǎng)與爐外電源連接的唯一通道；在爐內(nèi)與熱場(chǎng)（鳥籠）直接搭接，延伸到爐外的導(dǎo)電柱通過導(dǎo)電夾、軟連接與電源柜連接。
該部件的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，精度要求高，加工難度較大，主要體現(xiàn)如下：
（1）導(dǎo)電柱與爐蓋的結(jié)合：
導(dǎo)電電極是置放在藍(lán)寶石長晶真空爐膛內(nèi)，要穿過爐蓋與外部電源連接，所以電極4個(gè)導(dǎo)電柱之間的公差要求極其嚴(yán)格，需要和爐蓋上的4個(gè)孔位距離完全一致。如有誤差，將無法裝配。
（2）導(dǎo)電電極在加工過程中變形的問題：
電極是由純銅原料加工而成，從原材料到成品，要經(jīng)過很多道繁瑣工序，每道工序都會(huì)產(chǎn)生應(yīng)力，故容易變形。尤其是在最后的焊接工序中，因?yàn)楹附舆^程產(chǎn)生的熱量會(huì)使應(yīng)力釋放，工件很可能因此而造成嚴(yán)重變形，精加工的所有公差尺寸都會(huì)受到影響，且無法恢復(fù)進(jìn)行重新調(diào)整。
（3）電機(jī)冷卻水的走水密封：
電極的截流能力遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于導(dǎo)電要求，故導(dǎo)電電極自身不會(huì)發(fā)熱，但真空長晶爐內(nèi)雖有隔熱裝置，但還是有較高的溫度傳導(dǎo)到電極。加熱熱場(chǎng)的電熱絲通過導(dǎo)電環(huán)會(huì)直接把熱量傳導(dǎo)到電極上。所以電極必須要通水冷卻來保證電極的正常工作，真空長晶爐是高溫高真空的工作環(huán)境才能有效長出晶體。故對(duì)電極的主體與導(dǎo)電柱、走水槽封板、工藝孔堵頭部分的焊接有非常嚴(yán)格的要求。既不能因焊接降低導(dǎo)電率，又絕對(duì)不能有任何細(xì)微的滲漏，否則就達(dá)不到真空要求，長不出晶體。
我們通過與眾多科研單位的密切合作，參考多家國外公司先進(jìn)產(chǎn)品的成功經(jīng)驗(yàn)，利用國內(nèi)外的先進(jìn)設(shè)備，攻破了各個(gè)環(huán)節(jié)上的技術(shù)難題，成功開發(fā)出了藍(lán)寶石長晶爐專用電極。
每件產(chǎn)品出廠必須通過正壓、負(fù)壓、導(dǎo)電率等各項(xiàng)指標(biāo)的嚴(yán)格檢驗(yàn)。三年來，通過多家藍(lán)寶石長晶爐生產(chǎn)廠家使用，在業(yè)界獲得一致好評(píng)。